




真空檢漏
超聲波法
該方法實際上是聽音法的一種。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉,僅僅使超聲波部分放大,以檢測出泄漏。如真空設(shè)備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。檢測時,可以直接使用超聲波檢測器,根據(jù)檢測儀表指針是否擺動,確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉(zhuǎn)換器不僅在被試驗物加壓時可以使用,在抽真空時,由于吸入的空氣發(fā)出超聲波,因而,采用真空法時也可以使用。
超聲波轉(zhuǎn)換器由于只檢測超聲波部分,在普通工廠的噪音條件下,不受明顯干擾,因此檢漏效果很好。
該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器(探頭)間的距離等因素有關(guān)。當(dāng)泄漏點與探頭距離很近時,超聲波轉(zhuǎn)換器的靈敏度可達(dá)1′10-2cm3/s。
檢漏時將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大,一邊移動探頭,一邊偵聽,使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達(dá)到較大。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。然后,再尋找發(fā)出超聲波的位置,以便確定泄漏點。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時,就很準(zhǔn)確地判斷出泄漏點。這種方法操作簡便,人為因素較小,不同檢測人員所得到的檢測結(jié)果基本相同。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。例如:客戶可以先使用壓降法檢查是否存在泄漏,之后再使用氫氣檢漏儀查找出泄漏位置。如真空設(shè)備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。
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真空設(shè)備檢漏
氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀,通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀,是只檢測氦的專用質(zhì)譜儀,這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。基本工作原理是使用專門開發(fā)的氫氣傳感器,它只對氫氣有響應(yīng)信號,而對其他氣體沒有響應(yīng),屬于唯1性檢漏性檢漏方法。質(zhì)譜儀要想正常工作,需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下,空氣的流動才體現(xiàn)為分子流,質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。